铂薄膜电阻高温传感器

地区：江苏省扬州市

关键词：

需求类型：其它

需求领域：其它

需求编号：D2021040600000464

解决方案：暂无

审核状态：未审核

需求描述：

需求主要技术：1、采用膜式结构制成铂薄膜热敏电阻器；2、采用铂敏感栅电阻，实现对阻值的微调整，不仅保证铂电阻的阻值精度，还要提高铂电阻的灵敏度；3、铂薄膜热敏电阻器结构，利用有限元仿真软件进行模拟分析；4、分析研究MEMS加工工艺，在铂薄膜热敏电阻器制造中充分考虑各个工艺之间的相互影响，优化工艺参数，从设计和加工工艺上保证产品的性能指标和最终成品率；成果匹配

铂薄膜电阻高温传感器

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