制备厚度均匀、晶粒择优取向的PZT薄膜

地区：山东省淄博市

关键词：淄博微铨新型金属功能材料有限公司

需求类型：关键技术研究

需求领域：新材料

需求编号：D2021061600001942

解决方案：暂无

审核状态：通过审核

需求描述：

公司已经掌握相关产品在生物医用设备和换能器方面的具体应用，已经制备出一批厚度相对均匀和晶粒取向相对一致的PZT薄膜，在一定成熟上可以满足某些换能器或PMUT器件的需求，但与日本公司所生产的PZT薄膜相比还存在很大差距，初步判断是因为公司技术人员对PZT薄膜的成膜机理以及温度、真空度、晶圆片过渡层对晶粒取向的影响还不够了解。希望与高校科研院所的专家团队或企业合作，共同研发用磁控溅射方式在单晶硅晶圆片上制备出厚度均匀、晶粒择优取向生长的PZT压电薄膜，且保证制备成本足够低、制备工艺可重复性高，以满足越来越小型化的MEMS器件的需求。成果匹配

制备厚度均匀、晶粒择优取向的PZT薄膜

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